※お届け先は日本国内に限ります。
※ご注文の内容(本数、材質等)により、3営業日以内の発送ができない場合もございます。フロロハイパーPシリーズは、パーフルオロ系フッ素ゴム(FFKM)を主原料とするシール材です。このため、従来のフッ素ゴム(FKM)系シール材では対応てきなかった「高温(260℃前後〜320℃」「高エネルギー源(プラズマ、マイクロウエーブ等)」フロロハイパーPシリーズは、これらの耐性に加えて、さらに
「低ガス透過性」「低ガスアウト」
などの特性を有し、高真空下で使用することができます。
●フロロハイパーPシリーズのグレード(4種)とその特徴
標準グレード
最良の耐薬品性、耐アミン性、耐スチーム性と機械特性
耐プラズマ性、耐溶剤性、低ガス放出、低ガス透過性、低溶出
・色:黒
・硬さ:75
・最高使用温度目安:260℃
半導体・液晶・LED関連
レジスト剥離、CMP、コーターデベロッパー、洗浄、ドライエッチャー、CVD、排気ライン、真空ポンプ、薬液タンク
化学工業関連
ケミカルドライポンプ、タンク、バルブ
電気電子関連
洗浄装置、バッテリー
標準プラズマ対策グレード
耐プラズマ性と経済性兼備の普及グレード・色:白
・硬さ:76
・最高使用温度目安:230℃
半導体・液晶・LED関連
ドライエッチャー、CVD
特殊耐熱グレード
耐熱性、耐アミン性、耐スチーム性の併有・色:黒
・硬さ:76
・最高使用温度目安:320℃
半導体・液晶・LED関連
拡散炉、CVD、ランプアニール
耐プラズマ、パーティクル汚染対策・超低溶出グレード
最良の耐プラズマ性、低パーティクル汚染性、低溶出性・色:淡黄
・硬さ:70
・最高使用温度目安:230℃
半導体・液晶・LED関連
ドライエッチャー、CVD、高純度薬液、洗浄
2.62mm
公差:±0.07
3.00mm
公差:±0.10
3.53mm
公差:±0.10
5.70mm
公差:±0.15
6.00mm
公差:±0.15
6.98mm
公差:±0.15
8.40mm
公差:±0.15
10.00mm
公差:±0.30
※全てOリング(断面が●)となります。角型や、かまぼこ型等は出来ません。
ひも状のOリングを加硫つなぎという方法でつなぎますので、上記の範囲内で自由にご指定下さい。※内径2000mmを超える場合でも製作可能な場合もございますので、ご相談下さい。